1、產品特點
高質量AlN 外延片
由 MOCVD 生長而得的 2 寸外延晶片
一致性好
2、產品外觀
3、外延片特性(@22℃)
產品 | 裂紋 | 晶體質量 | 表面粗糙度 | |
002 | 102 | |||
AlN | <3mm | <200 | <450 | <0.1nm |
AlGaN | <3mm | <200 | <450 | <0.1nm |
備注:
1)可根據客戶要求定制特殊規格的 AlN 或 AlGaN 外延片;
4、包裝
1. 可提供 25 片/盒標準晶圓盒(圖 A) 包裝方式,盒身貼有注明每一片外延片的唯一身份信息的標簽,所述身份信息例如批次信息,或激光刻號等;
2. 可提供單片晶圓盒(圖 B)包裝方式,盒蓋上貼有注明該片外延片唯一身份信息的標簽,所述身份信息例如批次信息,或激光刻號等。
5、使用建議
1. 外延片儲藏
為避免外延片遭受不必要的污染及長時間氧化侵蝕,建議在不使用時將外延片儲藏在干燥箱或者氮氣柜中。推薦儲藏條件溫度應不超過35℃,濕度不大于65%;
2. 防護措施
外延片為易碎品,請在儲藏、運輸或加工過程中避免碰撞、擠壓、敲擊等事件發生,否則有可能導致外延片破碎或產生裂紋而無法使用;外延片的取放應采用專用的夾具;
3. 靜電防護
本產品已具備一定的抗靜電能力,但不代表在任意條件下都不會被靜電損傷。必要的靜電防護措施可有利于更好的使用本外延片;